日JSR, 청주에 첨단 반도체 포토레지스트 생산공장 구축

일본 반도체 소재 기업 JSR(Japan Synthetic Rubber)가 12일 충북 청주에 반도체 극자외선(EUV) 공정 핵심 소재인 메탈포토레지스트 생산공장 기공식을 열었다.

1957년 설립한 JSR는 현재 반도체 포토레지스트 분야 시장 점유율 세계 1위 기업이다. 국내에는 2003년 충북 오창 공장을 설립해 디스플레이 소재 분야에 처음 진출한 이래 꾸준히 투자를 확대해왔다. JSR는 전세계 기업 중 처음으로 EUV 공정용 메탈포토레지스트 생산거점을 한국에 구축하는 것이다. 2026년까지 생산기반 구축을 완료하고 메탈포토레지스트를 양산할 계획이다. 

포토레지스트는 반도체 웨이퍼 표면에 회로 패턴 형성을 위해 도포하는 물질이다. EUV 메탈포토레지스트는 기존 반도체 공정에서 사용되는 저사양 화학증폭형 포토레지스트를 대체하는 첨단제품으로, 주요 반도체 생산기업들이 역량을 집중하고 있는 반도체 초미세 공정의 경쟁력을 좌우하는 핵심 소재다. 

JSR 공장이 준공되면 국내기업 수요에 적기에 대응할 수 있어 국내 반도체 산업 경쟁력 강화에 기여할 것으로 기대된다. 

이날 기공식에 참석한 김대자 산업통상자원부 무역투자실장은 축사에서 “JSR의 이번 투자가 성공적으로 이행되고 추가 투자로 이어질 수 있도록 충북·청주시와 함께 총력 지원해 나갈 계획”이라며 “앞으로도 우리나라가 첨단산업 중심의 글로벌 비즈니스 거점으로 자리매김할 수 있도록 정책적 노력을 다하겠다”고 말했다.

이진경 기자 [e-mail]