전량 수입 의존 반도체 세정 ‘나노급 필터’ 국산화 성공

정부 R&D 등 지원 받은 시노펙스
신규 생산 라인 준공 양산 시작

반도체 세정 공정에 쓰이는 나노(㎚)급 필터는 생산에 핵심 부품으로 꼽힌다. 불순물을 제거하는 필터 성능은 반도체 수율과 직결된다. 그동안 전량을 수입에 의존하던 반도체 공정용 나노급 필터를 국내에서도 자체적으로 생산하기 시작했다.

전시된 반도체 웨이퍼 모습. 뉴스1

산업통상자원부는 17일 나노급 필터 생산기업인 시노펙스가 경기 화성시 동탄 공장에서 신규 생산 라인을 준공하고 반도체 세정 공정용 나노급 필터를 양산한다고 밝혔다. 이번 생산 라인 준공으로 연 1만개 규모의 필터 생산이 가능해져 연간 8000개인 국내 수요를 충족할 수 있게 됐다. 이곳에서 생산된 필터는 세정 장비사를 거쳐 삼성전자와 SK하이닉스에 공급될 예정이다.

시노펙스가 생산능력을 갖추는 데에는 수요·공급사 간 협력이 있었다. 세정 장비사가 필터 공급망 리스크 완화를 위해 시노펙스에 기술 개발을 요청했고 시노펙스는 필터 국산화를 위해 연구개발(R&D)에 착수했다. 산업부는 소부장(소재·부품·장비) 핵심 품목 국산화를 지원하고자 R&D, 세제·금융 지원을 했다.

반도체 선폭이 점점 미세화되면서 초미세 화학물질 불순물을 제거하는 세정 공정 또한 중요성이 커지고 있다. 이어진 간담회에서는 반도체 초격차 경쟁력 확보를 위한 공동R&D 등 협력 방안이 논의됐다.

준공식에 참석한 이승렬 산업부 산업정책실장은 “첨단산업 경쟁력 확보 및 공급망 강화를 위해서는 수요·공급 기업 간 협력이 중요하다”며 “정부는 첨단산업 초격차 연구개발 및 공급망 안정성 확보를 위한 투자를 확대하겠다”고 말했다.

박유빈 기자 [e-mail]